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[簡介]:本技術涉及一種藍寶石襯底晶片拋光后的超聲清洗方法,提出了一種超聲 溶液清洗去除顆粒和金屬離子,再利用超聲 氧化液清洗去除有機物的清洗方法。其中,顆2. 平磨 平磨又叫研磨或者叫雙面研磨,用雙面研磨機,上下盤上粘貼白色磨皮或者聚氨酯紅色磨皮為基材。中間用游星輪(牙板)做治具放玻璃,上下盤反方向轉動注射拋磨出平邊后用化學腐蝕方法去除滾磨造成的損傷,化學腐M1TSVB1SHI蝕液為HPHNo3系統。切片:以主平邊為基準,將硅錠切成具有精確幾何尺寸的薄晶片。(111)、(100)硅片。

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