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申請號:.1 申請人:大連理工大學 發明人:張貴峰索妮蕾黃昊 摘要:本發明屬于新材料合成領域,提供了一種摻硼金剛石粉末的制備方法。將硼HFCVD法制備金剛石膜以及工藝參數對薄膜的影響采用熱絲化學氣相沉積法(HFCVD),使用CH4和H2作為反應氣源,采用

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